當真空鍍膜機發生故障時，先要向用戶了解故障現象，然后開機觀察故障，以便更準確、更快、更合理地解決故障。

　　故障解決時，檢查低真空是否正常（機械泵、羅茨泵、管道、下室、蒸發室），低真空正常后開啟主泵，主泵正常后檢查下室是否正常

　　檢查空氣是否正常，再次打開高真空閥進行高真空檢測和檢漏，直至達到真空，極限真空，真空保護

　　恢復真空，如極限真空和真空保護正常，而恢復真空和真空不正常則可能導致主泵出現問題。

　　真空鍍膜機常見故障及維修方法如下：

　　一、鍍膜時真空度突然下降

　　1.汽源水回路橡膠圈損壞（更換橡膠圈）

　　2.坩堝穿孔（更換坩堝）

　　3.高壓電極密封損壞（更換橡膠圈）

　　4.旋轉密封處的橡膠圈損壞（更換橡膠圈）

　　5.預閥突然關閉可能導致二位五通閥損壞（更換二位五通閥）

　　6.突然關閉高位閥可能導致二位五通閥損壞（更換二位五通閥）

　　7.機械泵關閉可能是由于繼電器斷開（檢查繼電器是否正常）

　　8.烘烤引入線電極密封損壞（更換橡膠圈）

　　9.擋板動密封處橡膠圈損壞（更換橡膠圈）

　　10.玻璃觀察窗開裂爆炸（更換玻璃）

　　二、長期以來，真空鍍膜機抽真空時間很長，達不到真空、恢復真空、限制真空、保持真空

　　1.蒸發室有很多灰塵（要清洗）

　　2.擴散泵長時間未換油（應清洗換油）

　　3.前泵反向壓力過高，機械泵真空度過低（清洗換油）

　　4.密封橡膠圈損壞（更換橡膠圈）

　　5.由于蒸發室長期高溫，各密封膠圈老化（更換膠圈）

　　6.蒸發室進水密封處是否有橡膠圈損壞（更換橡膠圈）

　　7.各引入座螺絲螺母是否松動（重新壓緊）

　　8.高低預閥密封是否靠譜（充油）