光學鍍膜機主要由真空鍍膜機房、抽真空機組和電氣柜（控制柜、電子槍柜）組成。較廣的應用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領域。光學鍍膜設備的工作原理是利用電子束在高真空狀態下將金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，加熱后材料蒸發成蒸汽分子。它的平均自由程大于從蒸發源到蒸發基底的距離。蒸發后的蒸汽分子被導向各個方向，當它們接觸到基底時沉積在基底表面。

　　設備使用一周后，由于電鍍材料不但鍍在工件表面，而且沒有方向性，鍍層越來越厚。由于薄膜結構松散，纏繞松散，吸收大量氣體，導致真空鍍膜設備排氣越來越慢，薄膜厚度越來越慢。此時，應清潔工作間和襯里。如果不需要拆卸零件，可用砂紙打磨。襯板可浸入氫氟酸水溶液中。氫氟酸和水的比例取決于浸泡時間的長短和不損壞襯板的原則。由于采用電子槍和離子源輔助涂層，可能造成清洗困難，可采用噴砂等方法進行清洗。

　　光學鍍膜機的維護

　?。?）定期更換擴散泵油

　　擴散泵油使用一段時間，大約兩個月（兩班）。雖然擴散泵在長期高溫環境下只能在高真空下啟動，但氧等組分仍與擴散泵油發生反應。擴散泵油在高溫下也會產生裂紋，減小其質量，增加泵送時間。當我們認為時間拖得太久時，就應該把它換掉。

　?。?）真空泵

　　機械泵油，保持泵油在使用兩個月后，油質會發生變化。由于水、雜質等原因，油粘度變差，真空度下降，需要更換。如果是新設備，應在使用的前半個月更換，因為在磨合期間，油中含有較多的磨合鐵粉，會加劇磨損。

　?。?）清潔度

　　定期清理光學鍍膜機及其周圍環境，保持設備內外清潔，整理設備周圍環境，有良好的工作環境，保持安全。